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文献
J-GLOBAL ID：200902176965062320
整理番号：96A0236680
スパッタリングで作製した機能的勾配を持つNiTi薄膜
Functionally Gradient NiTi Films Fabricated by Sputtering.
TAKABAYASHI S
(Toyama Ind. Techhol., Toyama, JPN)
,
TANINO K
(Toyama Ind. Techhol., Toyama, JPN)
,
FUKUMOTO S
(Takagiseiko Co., Ltd., Toyama, JPN)
,
MIMATSU Y
(Tanaka Engineering Co., Ltd., Toyama, JPN)
,
YAMASHITA S
(Hokuriku Denki Kogyo Co., Ltd., Toyama, JPN)
,
ICHIKAWA Y
(Toyama Light Metal Ind. Co., Ltd., Toyama, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 35 号： 1A ページ： 200-204 発行年： 1996年01月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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