文献
J-GLOBAL ID:200902177005874270
整理番号:00A0974073
ジボラン化学蒸着の主要前駆体及び初期分解生成物の構造 実験及びab initio分子軌道研究
Structures of the main precursors and initial decomposition products of diborane chemical vapor deposition: an experimental and ab initio molecular orbital study.
著者 (4件):
SATO K
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
,
KANDA N
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
,
OGATA T
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
,
KUMASHIRO Y
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
資料名:
Chemical Physics Letters
(Chemical Physics Letters)
巻:
325
号:
4
ページ:
453-456
発行年:
2000年07月28日
JST資料番号:
B0824A
ISSN:
0009-2614
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)