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文献
J-GLOBAL ID：200902177232553480
整理番号：93A0898799
Mechanical and electrical properties of SiO2 thin films r.f. sputtered on non-silicon substrates for mechanical sensors.
GARCIA-ALONSO A
(Centro de Estudios e Investigaciones Tecnicas de Guipuzcoa(C.E.I.T.), San Sebastian, ESP)
,
ARTAZCOZ J
(Centro de Estudios e Investigaciones Tecnicas de Guipuzcoa(C.E.I.T.), San Sebastian, ESP)
,
CASTANO E
(Centro de Estudios e Investigaciones Tecnicas de Guipuzcoa(C.E.I.T.), San Sebastian, ESP)
,
OBIETA I
(Centro de Estudios e Investigaciones Tecnicas de Guipuzcoa(C.E.I.T.), San Sebastian, ESP)
,
GRACIA F J
(Centro de Estudios e Investigaciones Tecnicas de Guipuzcoa(C.E.I.T.), San Sebastian, ESP)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 37/38 ページ： 57-60 発行年： 1993年06月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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