文献
J-GLOBAL ID:200902177364154169
整理番号:99A0999506
触媒化学気相成長システムにより分解した活性アンモニアガス中でのPb(Zr,Ti)O3強誘電体キャパシタのアニーリング効果
Annealing Effect of Pb(Zr, Ti)O3 Ferroelectric Capacitor in Active Ammonia Gas Cracked by Catalytic Chemical Vapor Deposition System.
著者 (6件):
MINAMIKAWA T
(Japan Advanced Inst. Sci. and Technol., Ishikawa, JPN)
,
YONEZAWA Y
(Industrial Res. Inst. Ishikawa, Kanazawa, JPN)
,
NAKAMURA T
(Japan Advanced Inst. Sci. and Technol., Ishikawa, JPN)
,
FUJIMORI Y
(Japan Advanced Inst. Sci. and Technol., Ishikawa, JPN)
,
MASUDA A
(Japan Advanced Inst. Sci. and Technol., Ishikawa, JPN)
,
MATSUMURA H
(Japan Advanced Inst. Sci. and Technol., Ishikawa, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
38
号:
9B
ページ:
5358-5360
発行年:
1999年09月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)