文献
J-GLOBAL ID:200902177416623529
整理番号:93A0423309
Facet formation in silicon single crystals grown by VMFZ method.
著者 (4件):
KIMURA M
(Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Gunma, JPN)
,
ARAI H
(Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Gunma, JPN)
,
MORI T
(Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Gunma, JPN)
,
YAMAGISHI H
(Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Gunma, JPN)
資料名:
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻:
128
号:
1/4 Pt 1
ページ:
282-287
発行年:
1993年03月
JST資料番号:
B0942A
ISSN:
0022-0248
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)