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文献
J-GLOBAL ID：200902177519479531
整理番号：00A0349618
Formation and Detection of Sub-Pellicle Defects by Exposure to DUV System Illumination.
GRENON B J
(Grenon Consulting, Inc., VT)
,
PETERS C R
(Dominion Semiconductor, VA)
,
BHATTACHARYYA K
(KLA-Tencor Corp., CA)
,
VOLK W
(KLA-Tencor Corp., CA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3873 号： Pt.1 ページ： 162-176 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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