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文献
J-GLOBAL ID：200902177524812141
整理番号：97A0872546
局所電解エッチングに基づくナノ片持梁の新しい作製法 走査型力顕微鏡への適用
New technique for nanocantilever fabrication based on local electrochemical etching: Applications to scanning force microscopy.
HOUMMADY M
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
FARNAULT E
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
FUJITA H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
KAWAKATSU H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
MASUZAWA T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 15 号： 4 ページ： 1556-1558 発行年： 1997年07月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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