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文献
J-GLOBAL ID：200902177602984841
整理番号：02A0011738
幾何学的影響の解析のための非対称高周波放電の二次元電気的モデリング 実験との比較
Two-dimensional electrical modeling of asymmetric radio-frequency discharges for geometry effect analysis. Comparison with experiments.
RADOUANE K
(Univ. Paul Sabatier, Toulouse, FRA)
,
DESPAX B
(Univ. Paul Sabatier, Toulouse, FRA)
,
YOUSFI M
(Univ. Paul Sabatier, Toulouse, FRA)
,
COUDERC J P
(Ecole Nationale Superieure d’Integeneieurs de Genie Chimiqu Toulouse, FRA)
,
KLUSMANN E
(ATOTECH Deutschland GmbH, Berlin, DEU)
,
MEYER H
(ATOTECH Deutschland GmbH, Berlin, DEU)
,
SCHULZ R
(ATOTECH Deutschland GmbH, Berlin, DEU)
,
SCHULZE J
(ATOTECH Deutschland GmbH, Berlin, DEU)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 90 号： 9 ページ： 4346-4354 発行年： 2001年11月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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