文献
J-GLOBAL ID:200902177823194489
整理番号:93A0781536
Ab Initio Computation of Thermochemistry and Kinetics in the Oxidation of Gas Phase Silicon Species.
著者 (2件):
ZACHARIAH M R
(National Inst. Standards and Technology, Md)
,
TSANG W
(National Inst. Standards and Technology, Md)
資料名:
Chemical Perspectives of Microelectronic Materials 3
(Chemical Perspectives of Microelectronic Materials 3)
ページ:
493-498
発行年:
1993年
JST資料番号:
K19930443
ISBN:
1-55899-177-8
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)