文献
J-GLOBAL ID:200902177842751755
整理番号:99A0260798
位相シフト干渉法を用い焦点をずらせた干渉縞からの表面輪郭推定
Estimation of Surface Profile from Defocused Fringe Observation using Phase Shift Interferometry.
著者 (2件):
SAKUMA H
(Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo)
,
HARADA T
(Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo)
資料名:
International Journal of the Japan Society for Precision Engineering
(International Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻:
32
号:
4
ページ:
284-285
発行年:
1998年12月
JST資料番号:
Z0715A
ISSN:
0916-782X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)