文献
J-GLOBAL ID:200902178089536583
整理番号:99A0591707
窒化アルミニウム薄膜の分光測光解析
Spectrophotometric analysis of aluminum nitride thin films.
著者 (4件):
JOO H-Y
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
KIM H J
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
KIM S J
(Ajou Univ., Suwon, KOR)
,
KIM S Y
(Ajou Univ., Suwon, KOR)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
17
号:
3
ページ:
862-870
発行年:
1999年05月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)