文献
J-GLOBAL ID:200902178134228429
整理番号:01A0989526
うねりのある極めて薄いSOI構造薄膜中に作製したシリコン単一電子トンネル素子
Silicon single-electron tunneling device fabricated in an undulated ultrathin silicon-on-insulator film.
著者 (5件):
UCHIDA K
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
KOGA J
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
OHBA R
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
TAKAGI S
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
TORIUMI A
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
90
号:
7
ページ:
3551-3557
発行年:
2001年10月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)