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文献

J-GLOBAL ID：200902178155796133 整理番号：00A0000625

新しい真空紫外顕微鏡

A New Deep-UV Microscope.

著者 (5件)：

EGUCHI N

(Sony Corp., Tokyo, JPN)

OKA M

(Sony Corp., Tokyo, JPN)

IMAI Y

(Sony Corp., Tokyo, JPN)

SAITO M

(Sony Precision Technol. Inc., Kanagawa-ken, JPN)

KUBOTA S

(Sony Corp., Tokyo, JPN)

資料名：

Proceedings of SPIE (Proceedings of SPIE)

巻： 3740 ページ： 394-397 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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