文献
J-GLOBAL ID:200902178197998690
整理番号:94A0104346
半導体の不動態化に用いた材料の水による腐食
Water-Induced Corrosion of Materials Used for Semiconductor Passivation.
著者 (1件):
OSENBACH J W
(AT&T Bell Lab., Pennsylvania)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
140
号:
12
ページ:
3667-3675
発行年:
1993年12月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)