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文献
J-GLOBAL ID：200902178223141000
整理番号：94A0142651
軟X線投影ソリグラフィーのためのレーザ駆動装置
Laser driver for soft-x-ray projection lithography.
HACKEL L A
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
BEACH R J
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
DANE C B
(Lawrence Livermore National Lab., California)
,
ZAPATA L E
(Lawrence Livermore National Lab., California)
資料名：
Applied Optics
(Applied Optics)
巻： 32 号： 34 ページ： 6914-6919 発行年： 1993年12月01日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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