文献
J-GLOBAL ID:200902178325600034
整理番号:93A0310813
薄いけい素検出器の製造への湿式薬品選択的エッチング技術の応用
Application of wet chemical selective etch techniques to the fabrication of thin silicon detectors.
著者 (3件):
SCHMIDT B
(Forschungszentrum Rossendorf e.V., Dresden, DEU)
,
VON BORANY J
(Forschungszentrum Rossendorf e.V., Dresden, DEU)
,
SCHUBERT D
(Forschungszentrum Rossendorf e.V., Dresden, DEU)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A. Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A. Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment)
巻:
326
号:
1/2
ページ:
21-26
発行年:
1993年03月01日
JST資料番号:
D0208B
ISSN:
0168-9002
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)