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文献
J-GLOBAL ID：200902178489147217
整理番号：93A0387253
アルミニウムのみ及びアルミニウムと酸素の共同イオン注入後の鋼の摩耗
Wear of steels after implantation of aluminium and coimplantation of aluminium and oxygen ions.
LANGGUTH K
(Fraunhofer Arbeitsgruppe fuer Integrierte Schaltungen, Erlangen, DEU)
,
RYSSEL H
(Fraunhofer Arbeitsgruppe fuer Integrierte Schaltungen, Erlangen, DEU)
資料名：
Wear
(Wear)
巻： 161 号： 1/2 ページ： 127-133 発行年： 1993年04月01日
JST資料番号： E0377A ISSN： 0043-1648 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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