文献
J-GLOBAL ID:200902178652087642
整理番号:93A0943281
シリコン基板上に形成した棒状分子骨格をもつポリイミド膜中の分子配向
Molecular Orientation in Polyimide Films Having Rodlike Molecular Skeleton Formed on Silicon Substrate.
著者 (2件):
NOMURA H
(Toray Industries, Inc., Shiga)
,
ASANO M
(Toray Industries, Inc., Shiga)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
32
号:
9A
ページ:
3933-3937
発行年:
1993年09月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)