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文献
J-GLOBAL ID:200902178751448029   整理番号:99A0141733

非晶質窒化炭素膜の構造解析のための弾性反跳検出分析(ERDA),電子エネルギー損失分光法(EELS)およびX線光電子分光法(XPS)の比較研究

A comparative study of elastic recoil detection analysis(ERDA), electron energy loss spectroscopy(EELS) and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) for structural analysis of amorphous carbon nitride films.
著者 (7件):
SPAETH C
(Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
KUEHN M
(Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
RICHTER F
(Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
FALKE U
(Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
HIETSCHOLD M
(Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
KILPER R
(Univ. Basel, Basel, CHE)
KREISSIG U
(Forschungszentrum Rossendorf, Dresden, DEU)

資料名:
Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)

巻:号: 11/12  ページ: 1727-1733  発行年: 1998年12月 
JST資料番号: W0498A  ISSN: 0925-9635  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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