文献
J-GLOBAL ID:200902178751448029
整理番号:99A0141733
非晶質窒化炭素膜の構造解析のための弾性反跳検出分析(ERDA),電子エネルギー損失分光法(EELS)およびX線光電子分光法(XPS)の比較研究
A comparative study of elastic recoil detection analysis(ERDA), electron energy loss spectroscopy(EELS) and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) for structural analysis of amorphous carbon nitride films.
著者 (7件):
SPAETH C
(Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
,
KUEHN M
(Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
,
RICHTER F
(Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
,
FALKE U
(Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
,
HIETSCHOLD M
(Technische Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
,
KILPER R
(Univ. Basel, Basel, CHE)
,
KREISSIG U
(Forschungszentrum Rossendorf, Dresden, DEU)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
7
号:
11/12
ページ:
1727-1733
発行年:
1998年12月
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)