文献
J-GLOBAL ID:200902178873429491
整理番号:93A0603861
半絶縁性多結晶シリコンの物理的性質 I 構造,電子的性質および電気伝導率
Physical properties of semi-insulating polycrystalline silicon. I. Structure, electronic properties, and electrical conductivity.
著者 (4件):
BRUEESCH P
(ABB Corporate Research, Baden-Daettwil, CHE)
,
STOCKMEIER T
(ABB Corporate Research, Baden-Daettwil, CHE)
,
STUCKI F
(ABB Corporate Research, Baden-Daettwil, CHE)
,
BUFFAT P A
(Ecole Polytechnique Federale(EPFL), Lausanne, CHE)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
73
号:
11
ページ:
7677-7689
発行年:
1993年06月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)