文献
J-GLOBAL ID:200902179191176369
整理番号:95A0437174
シリコン基板上のジルコニウム酸チタン酸鉛の誘電性,強誘電性および圧電性
Dielectric, ferroelectric, and piezoelectric properties of lead zirconate titanate thick films on silicon substrates.
著者 (5件):
CHEN H D
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania)
,
UDAYAKUMAR K R
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania)
,
CROSS L E
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania)
,
BERNSTEIN J J
(Charles Stark Draper Lab., Massachusetts)
,
NILES L C
(Charles Stark Draper Lab., Massachusetts)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
77
号:
7
ページ:
3349-3353
発行年:
1995年04月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)