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文献
J-GLOBAL ID：200902179873956188
整理番号：01A0426360
SAMsとMEMS 光塑性MEMS/NEMSの乾式脱型のための自己集合単層による表面改質
“SAMs meet MEMS”: surface modification with self-assembled monolayers for the dry-demolding of photoplastic MEMS/MEMS.
KIM B J
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
KIM G M
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
LIEBAU M
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
HUSKENS J
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
REINHOUDT D N
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
BRUGGER J
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 14th ページ： 106-109 発行年： 2001年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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