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文献
J-GLOBAL ID：200902179971578710
整理番号：97A0265613
レーザ表面走査および角度分解光散乱によるシリコン粒子の測定
Measurement of Silicon Particles by Laser Surface Scanning and Angle-Resolved Light Scattering.
HUFF H R
(SEMATECH, Texas, USA)
,
GOODALL R K
(SEMATECH, Texas, USA)
,
WILLIAMS E
(SEMATECH, Texas, USA)
,
WOO K-S
(Univ. Minnesota, Minnesota, USA)
,
WARNER T
(Arizona State Univ., Arizona, USA)
,
GILDERSLEEVE K
(Motorola-Mesa, Arizona, USA)
,
BULLIS W M
(Semiconductor Equipment and Materials International, California, USA)
,
SCHEER B W
(VLSI Standards, Inc., California, USA)
,
STOVER J
(ADE Optical Systems, North Carolina, USA)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 144 号： 1 ページ： 243-250 発行年： 1997年01月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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