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文献
J-GLOBAL ID:200902179971578710   整理番号:97A0265613

レーザ表面走査および角度分解光散乱によるシリコン粒子の測定

Measurement of Silicon Particles by Laser Surface Scanning and Angle-Resolved Light Scattering.
著者 (9件):
HUFF H R
(SEMATECH, Texas, USA)
GOODALL R K
(SEMATECH, Texas, USA)
WILLIAMS E
(SEMATECH, Texas, USA)
WOO K-S
(Univ. Minnesota, Minnesota, USA)
WARNER T
(Arizona State Univ., Arizona, USA)
GILDERSLEEVE K
(Motorola-Mesa, Arizona, USA)
BULLIS W M
(Semiconductor Equipment and Materials International, California, USA)
SCHEER B W
(VLSI Standards, Inc., California, USA)
STOVER J
(ADE Optical Systems, North Carolina, USA)

資料名:
Journal of the Electrochemical Society  (Journal of the Electrochemical Society)

巻: 144  号:ページ: 243-250  発行年: 1997年01月 
JST資料番号: C0285A  ISSN: 1945-7111  CODEN: JESOAN  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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