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文献
J-GLOBAL ID：200902180006423493
整理番号：01A0452124
付加質量形AFM片持はりの接触共振による微小領域弾性的性質の高感度検出
村岡幹夫
(秋田大)
,
鎌田裕毅
(秋田大)
資料名：
日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集
(日本機械学会東北支部・精密工学会東北支部総会・講演会講演論文集)
巻： 36th ページ： 128-129 発行年： 2001年03月10日
JST資料番号： L0012A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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