文献
J-GLOBAL ID:200902180160812982
整理番号:96A0985020
超音波噴霧を用いた有機金属化学気相成長法によるジルコニア薄膜の作製
Preparation of zirconia thin films by metalorganic chemical vapor deposition using ultrasonic nebulization.
著者 (3件):
KIM D-Y
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
LEE C-H
(Keimyung Univ., Taegu, KOR)
,
PARK S J
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
資料名:
Journal of Materials Research
(Journal of Materials Research)
巻:
11
号:
10
ページ:
2583-2587
発行年:
1996年10月
JST資料番号:
D0987B
ISSN:
0884-2914
CODEN:
JMREEE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)