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文献
J-GLOBAL ID：200902180181734035
整理番号：99A0655590
微小機械共振器の熱安定性の向上のための幾何学的形状応力補償
Geometric Stress Compensation for Enhanced Thermal Stability in Micromechanical Resonators.
HSU W-T
(Univ. Michigan, Michigan)
,
NGUYEN C T-C
(Univ. Michigan, Michigan)
資料名：
Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium
(Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)
巻： 1998 号： Vol.1 ページ： 945-948 発行年： 1998年
JST資料番号： A0437C ISSN： 1051-0117 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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