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文献
J-GLOBAL ID：200902180239434630
整理番号：93A0927970
ZnO膜表面研磨によるSAWフィルタの周波数特性ばらつきの低減
Reduction of Deviation of Frequency Characteristics of SAW Filters by Mechanical Polishing of ZnO Film Surface.
門田道雄
(村田製作所)
,
近藤親史
(村田製作所)
,
中鉢憲賢
(東北大 工)
資料名：
電子情報通信学会論文誌 A
(IEICE Transaction on Fundamentals of Electronics, Communications and Computer Sciences (Japan Edition))
巻： 76 号： 10 ページ： 1399-1406 発行年： 1993年10月
JST資料番号： S0621A ISSN： 0913-5707 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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