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文献
J-GLOBAL ID：200902180724784496
整理番号：96A0005496
圧電デバイス RFマグネトロン形ECRスパッタ装置によるZnO膜の特性
Properties of ZnO Films Deposited by an RF-Magnetron Mode ECR Sputering System.
門田道雄
(村田製作所)
,
皆方誠
(静岡大)
資料名：
電子情報通信学会論文誌 C-1
(Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-1)
巻： 78 号： 11 ページ： 580-586 発行年： 1995年11月
JST資料番号： S0623B ISSN： 0915-1893 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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