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J-GLOBAL ID：200902180760879584 整理番号：00A0362875

172nmエキシマランプを用いた五酸化タンタルの蒸着と熱処理

Deposition and annealing of tantalum pentoxide films using 172nm excimer lamp.

著者 (3件)：

ZHANG J-Y

(Univ. Coll. London, London, GBR)

LIM B

(Univ. Coll. London, London, GBR)

BOYD I W

(Univ. Coll. London, London, GBR)

資料名：

Applied Surface Science (Applied Surface Science)

巻： 154/155 ページ： 382-386 発行年： 2000年02月
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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