前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902180999264816
整理番号：97A0095681
Plasma immersion ion implantation-a fledgling technique for semiconductor processing.
CHU P K
(City Univ. Hong Kong, HKG)
,
QIN S
(Northeastern Univ., MA, USA)
,
CHAN C
(Northeastern Univ., MA, USA)
,
CHEUNG N W
(Univ. California, CA, USA)
,
LARSON L A
(Sematech, TX, USA)
資料名：
Materials Science & Engineering. R. Reports
(Materials Science & Engineering. R. Reports)
巻： 17 号： 6/7 ページ： XIII-XIV,207-280 発行年： 1996年11月30日
JST資料番号： T0341A ISSN： 0927-796X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。