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文献
J-GLOBAL ID：200902181039455486
整理番号：98A0730026
高分解能,高速,低いデータエイジ不確定性を持つヘテロダイン変位測定干渉計の電子回路
High-resolution, high-speed, low data age uncertainty, heterodyne displacement measuring interferometer electronics.
DEMAREST F C
(Zygo Corp., CT, USA)
資料名：
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻： 9 号： 7 ページ： 1024-1030 発行年： 1998年07月
JST資料番号： C0354C ISSN： 0957-0233 CODEN： MSTCEP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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