文献
J-GLOBAL ID:200902181304601341
整理番号:02A0001849
信頼性のある高スループットSEM-ADCを使った効果的な致命欠陥の制御
Efficient Killer-Defect Control using Reliable High-Throughput SEM-ADC.
著者 (6件):
WATANABE K
(Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN)
,
TAKAGI Y
(Hitachi, Ltd., Yokohama-shi, JPN)
,
OBARA K
(Hitachi, Ltd., Yokohama-shi, JPN)
,
OKUDA H
(Hitachi, Ltd., Yokohama-shi, JPN)
,
NAKAGAKI R
(Hitachi, Ltd., Yokohama-shi, JPN)
,
KUROSAKI T
(Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN)
資料名:
IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop
(IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop)
巻:
12th
ページ:
219-222
発行年:
2001年
JST資料番号:
W0718A
ISSN:
1078-8743
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)