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文献
J-GLOBAL ID：200902181330876057
整理番号：03A0011659
小形電子ビーム励起プラズマ源を用いた酸素プラズマ中でのガラスディスクの洗浄
Cleaning of Glass Disk in Oxygen Plasma by Using Compact Electron-Beam-Excited Plasma Source.
TADA S
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
ITO M
(Wakayama Univ., Wakayama, JPN)
,
HAMAGAKI M
(Inst. Physical and Chemical Res. (RIKEN), Saitama, JPN)
,
HORI M
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
GOTO T
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41 号： 11A ページ： 6553-6556 発行年： 2002年11月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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