文献
J-GLOBAL ID:200902181361716333
整理番号:99A0539651
トリガーなしのシャントアーク放電によるパルス金属イオン源
Pulsed metal ion source by triggerless shunting arc discharge.
著者 (5件):
YUKIMURA K
(Doshisha Univ., Kyoto, JPN)
,
ISONO R
(Doshisha Univ., Kyoto, JPN)
,
MONGUCHI T
(Doshisha Univ., Kyoto, JPN)
,
YOSHIOKA K
(Doshisha Univ., Kyoto, JPN)
,
MASAMUNE S
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
17
号:
2
ページ:
871-874
発行年:
1999年03月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)