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文献
J-GLOBAL ID：200902181757657500
整理番号：98A0543083
マイクロ波電力によって維持される平面形プラズマ源の特性
Characteristics of the planar plasma source sustained by microwave power.
ODROBINA I
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
K<span style=text-decoration:overline>U ́</span>DELA J
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
KANDO M
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名：
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻： 7 号： 2 ページ： 238-243 発行年： 1998年05月
JST資料番号： W0479A ISSN： 0963-0252 CODEN： PSTEEU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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