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J-GLOBAL ID：200902181794558090 整理番号：01A0559357

高温で用いる酸素センサ用のGa₂O₃薄膜

Ga₂O₃ thin film for oxygen sensor at high temperature.

著者 (4件)：

OGITA M

(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)

HIGO K

(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)

NAKANISHI Y

(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)

HATANAKA Y

(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)

資料名：

Applied Surface Science (Applied Surface Science)

巻： 175/176 ページ： 721-725 発行年： 2001年05月15日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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高温で用いる酸素センサ用のGa2O3薄膜

高温で用いる酸素センサ用のGa₂O₃薄膜