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文献
J-GLOBAL ID：200902181837638565
整理番号：02A0674206
単一化学量論組成ターゲットを用いたRFマグネトロンスパッタリングによるPb(Zr,Ti)O3薄膜の作製 構造と電気的性質
Preparation of Pb(Zr,Ti)O3 thin films by RF-magnetron sputtering with single stoichiometric target: Structural and electrical properties.
THOMAS R
(National Inst. Advanced Ind. Sci. and Technol., Osaka, JPN)
,
MOCHIZUKI S
(National Inst. Advanced Ind. Sci. and Technol., Osaka, JPN)
,
MIHARA T
(National Inst. Advanced Ind. Sci. and Technol., Osaka, JPN)
,
ISHIDA T
(National Inst. Advanced Ind. Sci. and Technol., Osaka, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 413 号： 1/2 ページ： 65-75 発行年： 2002年06月24日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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