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文献
J-GLOBAL ID:200902181837638565   整理番号:02A0674206

単一化学量論組成ターゲットを用いたRFマグネトロンスパッタリングによるPb(Zr,Ti)O3薄膜の作製 構造と電気的性質

Preparation of Pb(Zr,Ti)O3 thin films by RF-magnetron sputtering with single stoichiometric target: Structural and electrical properties.
著者 (4件):
THOMAS R
(National Inst. Advanced Ind. Sci. and Technol., Osaka, JPN)
MOCHIZUKI S
(National Inst. Advanced Ind. Sci. and Technol., Osaka, JPN)
MIHARA T
(National Inst. Advanced Ind. Sci. and Technol., Osaka, JPN)
ISHIDA T
(National Inst. Advanced Ind. Sci. and Technol., Osaka, JPN)

資料名:
Thin Solid Films  (Thin Solid Films)

巻: 413  号: 1/2  ページ: 65-75  発行年: 2002年06月24日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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