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文献
J-GLOBAL ID：200902181870567754
整理番号：99A0795833
DUVリソグラフィにおける鏡面分光散乱計測
Specular Spectroscopic Scatterometry in DUV Lithography.
NIU X
(Timbre Technol. Inc., CA)
,
JAKATDAR N
(U.C. Berkeley, CA)
,
BAO J
(U.C. Berkeley, CA)
,
SPANOS C
(U.C. Berkeley, CA)
,
YEDUR S
(Advanced Micro Devices, CA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3677 号： Pt.1 ページ： 159-168 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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