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文献
J-GLOBAL ID：200902181892627890
整理番号：00A0452819
走査型プローブ顕微鏡のカーボンナノチューブプローブを作製するためのマイクロプロセス
Microprocess for fabricating carbon-nanotube probes of a scanning probe microscope.
NAKAYAMA Y
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
NISHIJIMA H
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
AKITA S
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
HOHMURA K I
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
YOSHIMURA S H
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
TAKEYASU K
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 18 号： 2 ページ： 661-664 発行年： 2000年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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