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文献
J-GLOBAL ID：200902181924927182
整理番号：97A0400575
SF6クラスタイオンビームによる反応性スパッタリング
Reactive sputtering by SF6 cluster ion beams.
TOYODA N
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KITANI H
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
MATSUO J
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
YAMADA I
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 121 号： 1/4 ページ： 484-488 発行年： 1997年01月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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