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文献
J-GLOBAL ID：200902181948529501
整理番号：99A0935973
多モードアンテナを用いた誘導結合プラズマにおける電子エネルギーの制御
Electron Energy Control in Inductively Coupled Plasma Employing Multimode Antenna.
SHINDO H
(Tokai Univ., Hiratsuka, JPN)
,
URAYAMA T
(Tokai Univ., Hiratsuka, JPN)
,
FUJII T
(Tokai Univ., Hiratsuka, JPN)
,
HORIIKE Y
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
FUJII S
(ADTEC Co., Ltd., Fukuyama, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 38 号： 9A/B ページ： L1066-L1069 発行年： 1999年09月15日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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