文献
J-GLOBAL ID:200902181961232747
整理番号:97A0398711
正確な形状の過フッ化炭化水素被膜の使用によるミクロ構造の解放後付着の解消
Elimination of Post-Release Adhesion in Microstructures Using Conformal Fluorocarbon Coatings.
著者 (3件):
MAN P F
(Univ. Michigan, MI, USA)
,
GOGOI B P
(Univ. Michigan, MI, USA)
,
MASTRANGELO C H
(Univ. Michigan, MI, USA)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
6
号:
1
ページ:
25-34
発行年:
1997年03月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)