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文献
J-GLOBAL ID:200902182096620414   整理番号:03A0084014

表面波励起マイクロ波プラズマCVD法による整列炭素ナノチューブの大規模合成

Large-Scale Synthesis of Aligned Carbon Nanotubes by Surface-Wave-Excited Microwave-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition.
著者 (6件):
HAYASHI H
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
KOGA M
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
KASHIRAJIMA J
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
TAKAHASHI K
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
HAYASHI Y
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
NISHINO S
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)

巻: 41  号: 12B  ページ: L1488-L1491  発行年: 2002年12月15日 
JST資料番号: F0599B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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