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文献
J-GLOBAL ID：200902182448861980
整理番号：93A0765871
フィルタを通過したカソードアークによるカーボン膜の蒸着
Deposition of carbon films by a filtered cathodic arc.
KUEHN M
(Technical Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
,
MEJA P
(Technical Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
,
RICHTER F
(Technical Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 2 号： 10 ページ： 1350-1354 発行年： 1993年08月16日
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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