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文献
J-GLOBAL ID：200902182471313044
整理番号：93A0667620
サブミクロンの重合体トレンチの酸素反応性イオンエッチングにおけるマイクロローディングに及ぼすイオン角度分布の効果
Effect of ion angular distributions on microloading in oxygen reactive-ion etching of submicrometer polymer trenches.
JANES J
(Fraunhofer-Inst. Mikrostrukturtechnik IMT, Berlin, DEU)
,
PILZ W
(Fraunhofer-Inst. Mikrostrukturtechnik IMT, Berlin, DEU)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 74 号： 1 ページ： 649-658 発行年： 1993年07月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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