文献
J-GLOBAL ID:200902182477449398
整理番号:99A0727543
単結晶けい素の切削中のクラック発生
Crack Initiation in Machining Monocrystalline Silicon.
著者 (4件):
INAMURA T
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
,
SHIMADA S
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TAKEZAWA N
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
,
IKAWA N
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
資料名:
CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research)
(CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research))
巻:
48
号:
1
ページ:
81-84
発行年:
1999年
JST資料番号:
E0026A
ISSN:
0007-8506
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)