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文献
J-GLOBAL ID：200902183254213399
整理番号：98A0617711
集束イオンビームミリングのヘテロ界面を含む工業材料の断面TEM用試料調製への応用
Application of focused ion beam milling to cross-sectional TEM specimen preparation of industrial materials including heterointerfaces.
KURODA K
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
TAKAHASHI M
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
KATO T
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
SAKA H
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
TSUJI S
(IBM Japan, Kanagawa, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 319 号： 1/2 ページ： 92-96 発行年： 1998年04月29日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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