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文献
J-GLOBAL ID：200902183389985049
整理番号：98A0602625
マグネトロンスパッタした超硬質炭化ほう素薄膜におけるサブプランテーション効果
Subplantation effect in magnetron sputtered superhard boron carbide thin films.
ULRICH S
(Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe, DEU)
,
EHRHARDT H
(Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU)
,
SCHWAN J
(Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU)
,
SAMLENSKI R
(Univ. Freiburg, Freiburg, DEU)
,
BRENN R
(Univ. Freiburg, Freiburg, DEU)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 7 号： 6 ページ： 835-838 発行年： 1998年06月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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