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文献
J-GLOBAL ID：200902183408873206
整理番号：98A0343169
有機金属化学蒸着によるRuO2薄膜の低温成長と配向制御
Low-temperature growth and orientational control in RuO2 thin films by metal-organic chemical vapor deposition.
BAI G-R
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
WANG A
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
FOSTER C M
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
VETRONE J
(Argonne National Lab., IL, USA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 310 号： 1/2 ページ： 75-80 発行年： 1997年11月21日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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