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文献
J-GLOBAL ID:200902183408873206   整理番号:98A0343169

有機金属化学蒸着によるRuO2薄膜の低温成長と配向制御

Low-temperature growth and orientational control in RuO2 thin films by metal-organic chemical vapor deposition.
著者 (4件):
BAI G-R
(Argonne National Lab., IL, USA)
WANG A
(Argonne National Lab., IL, USA)
FOSTER C M
(Argonne National Lab., IL, USA)
VETRONE J
(Argonne National Lab., IL, USA)

資料名:
Thin Solid Films  (Thin Solid Films)

巻: 310  号: 1/2  ページ: 75-80  発行年: 1997年11月21日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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