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文献
J-GLOBAL ID：200902183635245408
整理番号：02A0656821
熱陰極四重極残留ガス分析器におけるグリッド加熱法による電子刺激脱離及びガス放出により引き起こされる疑似ピークの研究及び低減
Investigation and reduction of spurious peaks caused by electron-stimulated desorption and outgassing by means of a grid heating method in a hot-cathode quadrupole residual gas analyzer.
WATANABE F
(Sukegawa Electric Co., Ltd., Ibaraki, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 20 号： 4 ページ： 1222-1229 発行年： 2002年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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